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  1. 发的高性能氮化铝压电薄膜与芯片关键制备技术，解决了AIN压电MEMS领域关键共性难题，支撑国内多家科研单位与企业进行5G通信滤波、压电超声测距、压电超声传感等器件研究。该项技术已带来直接收益超5000万元。 康力电梯股份有限公司孟庆刚、干旻旭“超高速梯调试”项目突破技术壁垒...
    2023.10.15 10:57:00
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