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  1. 产品,成熟一个孵化一个,去年技术合同成交额1.23亿元。该所与苏州亚信华电子科技公司签约合作,针对企业在半导体清洗设备制造中智能控制模块技术上存在的短板,开发了一套以半导体清洗设备的人机交互、智能识别、智能控制为主要应用场景的人机交互系统,实现了设备控制功能模块10个以...
    2021.05.18 18:09:00