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  1. 储采用多层设计结构，轨道设计和布局充分考虑工厂不同区域、工序间的实际需求，优化天车传送路径。为了减少搬运震动引发的晶圆破损，搬运重复精度控制在±0.5mm，搬运过程载具振动峰值不超过0.5G，且关键取放过程中实施多重防护；天车运行速度提高至每秒5.3米，抓取时间仅需数秒，就算...
    2024.05.05 06:33:00
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