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  1. 4至6英寸碳化硅晶体生长及加工核心技术,产品品质已达国际先进水平。设备方面,鲁汶仪器的新型存储器刻蚀机、离子束刻蚀机和气相分解金属沾污收集系统等产品,已填补国内空白。 抢抓新一轮发展机遇,徐州市加快项目建设,增强产业发展后劲。今年计划投资额超10亿元项目的有先导高...
    2023.08.21 08:53:00
  2. 满足欧盟安全认证要求,目前已经实现欧洲批量出口,为徐工港机在国际市场上的一大跨步。 江苏鲁汶仪器股份有限公司研发的气相分解金属沾污收集系统是专为集成电路制造、大晶圆生产及再生、先导工艺研发等行业提供金属沾污控制方案的产品。该系统拥有自主专利保护的工艺腔体技术...
    2023.09.08 16:40:00