惠山经开区：优化营商环境 提升服务效能

（模式越创新，势能、动能越大）。 潘国顺主任做了“先进电子制造中超精抛光技术研究”的主题报告，潘主任深入浅出的从半导体材料简介到集成电路硅晶片抛光技术以及第三代半导体材料超精表面抛光技术，详细介绍了我国在半导体单晶硅片基础材料研制上的技术瓶颈以及与发达国家存在的差距...

http://jsnews.jschina.com.cn/wx/a/202110/t20211027_2880526.shtml

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