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  1. 的问题，研制了一套适用性广、测量误差小的X射线三维尺寸测量系统校准装置，包括多球标准器、空间分辨率标准器及调心预对中装置，并使用圆度仪、微纳坐标测量机、场发射电子扫描显微镜、激光共聚焦显微镜对其进行了应用验证和校准定值，实现了对X射线测量设备进行高效准确的量值溯源...
    2025.04.07 08:25:00
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