3天5款“设计包” 成果转化结硕果

推出8寸硅基薄膜铌酸锂、微机电系统领域两款光子芯片工艺设计包；4月9日，推出硅基薄膜钽酸锂光子芯片工艺包，为国内首个；4月10日，发布石英基薄膜铌酸锂、硅光领域两款光子芯片工艺设计包，其中石英基薄膜铌酸锂工艺包为国内首个。 近日，南京南智先进光电集成技术研究院（下称“...

http://gjzx.jschina.com.cn/TodayJiangsu/202504/t20250413_8475622.shtml

3天5款“设计包” 成果转化结硕果

推出8寸硅基薄膜铌酸锂、微机电系统领域两款光子芯片工艺设计包；4月9日，推出硅基薄膜钽酸锂光子芯片工艺包，为国内首个；4月10日，发布石英基薄膜铌酸锂、硅光领域两款光子芯片工艺设计包，其中石英基薄膜铌酸锂工艺包为国内首个。 近日，南京南智先进光电集成技术研究院（下称“南...

https://www.zgjssw.gov.cn/shixianchuanzhen/nanjing/202504/t20250413_8475634.shtml